文献
J-GLOBAL ID:201302281739761496
整理番号:13A1749111
300mmでの誘導自己組織化インテグレーションと製造可能性の進歩
Advances in Directed Self Assembly Integration and Manufacturability at 300mm
著者 (14件):
RATHSACK Benjamen
(Tokyo Electron America, Inc., TX, USA)
,
SOMERVELL Mark
(Tokyo Electron America, Inc., TX, USA)
,
MURAMATSU Makoto
(Tokyo Electron Kyushu Ltd., Kumamoto, JPN)
,
TANOUCHI Keiji
(Tokyo Electron Kyushu Ltd., Kumamoto, JPN)
,
KITANO Takahiro
(Tokyo Electron Kyushu Ltd., Kumamoto, JPN)
,
NISHIMURA Eiichi
(Tokyo Electron Miyagi Ltd., Yamanashi)
,
YATSUDA Koichi
(Tokyo Electron Ltd., Tokyo, JPN)
,
NAGAHARA Seiji
(Tokyo Electron Ltd., Tokyo, JPN)
,
IWAKI Hiroyuki
(Tokyo Electron Ltd., Tokyo, JPN)
,
AKAI Keiji
(Tokyo Electron Ltd., Tokyo, JPN)
,
OZAWA Mariko
(Tokyo Electron Ltd., Tokyo, JPN)
,
NEGREIRA Ainhoa Romo
(Tokyo Electron Ltd., Leuven, BEL)
,
TAHARA Shigeru
(Tokyo Electron Ltd., Leuven, BEL)
,
NAFUS Kathleen
(Tokyo Electron Ltd., Leuven, BEL)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8682
ページ:
86820K.1-86820K.11
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)