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文献
J-GLOBAL ID：201302282736498952
整理番号：13A0921789
多結晶ハフニウム酸化物誘電体における電気的ストレス誘起ブレークダウンのマクロスコピックモデリング
Microscopic Modeling of Electrical Stress-Induced Breakdown in Poly-Crystalline Hafnium Oxide Dielectrics
VANDELLI Luca
(Universita di Modena e Reggio Emilia, Reggio Emilia, ITA)
,
PADOVANI Andrea
(Universita di Modena e Reggio Emilia, Reggio Emilia, ITA)
,
PADOVANI Andrea
(INTERMECH MO. RE. Center, Modena, ITA)
,
LARCHER Luca
(Universita di Modena e Reggio Emilia, Reggio Emilia, ITA)
,
BERSUKER Gennadi
(SEMATECH, NY, USA)
資料名：
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 60 号： 5 ページ： 1754-1762 発行年： 2013年05月
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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