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文献
J-GLOBAL ID：201302282750789218
整理番号：13A0146847
TiN膜の微細構造及び表面特性に及ぼすパルスバイアスデューティ比の効果
Effects of pulsed bias duty ratio on microstructure and surface properties of TiN films
YONGQIANG Wei
(School of Mechatronics Engineering, Zhengzhou Inst. of Aeronautical Ind. Management, No. 2, Daxue Middle Street ...)
,
YONGQIANG Wei
(State Key Lab. of Advanced Welding and Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN)
,
YONGQIANG Wei
(Engineering Technol. Res. Center of Aviation Manufacturing & Equipment, Univ. of Henan Province, Zhengzhou 450015, CHN)
,
XIAOXIA Chen
(School of Mechatronics Engineering, Zhengzhou Inst. of Aeronautical Ind. Management, No. 2, Daxue Middle Street ...)
,
XIUBO Tian
(State Key Lab. of Advanced Welding and Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN)
,
CHUNZHI Gong
(State Key Lab. of Advanced Welding and Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN)
,
SHIQIN Yang
(State Key Lab. of Advanced Welding and Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN)
,
ZHIQIANG Jiang
(School of Mechatronics Engineering, Zhengzhou Inst. of Aeronautical Ind. Management, No. 2, Daxue Middle Street ...)
,
ZHIQIANG Jiang
(Engineering Technol. Res. Center of Aviation Manufacturing & Equipment, Univ. of Henan Province, Zhengzhou 450015, CHN)
,
LIANGJI Chen
(School of Mechatronics Engineering, Zhengzhou Inst. of Aeronautical Ind. Management, No. 2, Daxue Middle Street ...)
,
LIANGJI Chen
(Engineering Technol. Res. Center of Aviation Manufacturing & Equipment, Univ. of Henan Province, Zhengzhou 450015, CHN)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 89 ページ： 185-189 発行年： 2013年03月
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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