文献
J-GLOBAL ID:201302283073328906
整理番号:13A1227751
焦点がぼけたディジタル粒子画像の速度計測使用によるマイクロインプリントリソグラフィーにおけるレジスト注入挙動に関する実験的研究
Experimental research on resist filling behavior in microimprint lithography by using defocusing digital particle image velocimetry
著者 (4件):
JUN Du
(Xi’an Jiaotong Univ., State Key Lab. of Manufacturing System Engineering, 710049, Xi’an, CHN)
,
ZHENGYING Wei
(Xi’an Jiaotong Univ., State Key Lab. of Manufacturing System Engineering, 710049, Xi’an, CHN)
,
SHIZE Li
(Xi’an Jiaotong Univ., State Key Lab. of Manufacturing System Engineering, 710049, Xi’an, CHN)
,
YIPING Tang
(Xi’an Jiaotong Univ., State Key Lab. of Manufacturing System Engineering, 710049, Xi’an, CHN)
資料名:
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻:
19
号:
8
ページ:
1229-1238
発行年:
2013年08月
JST資料番号:
W2056A
ISSN:
0946-7076
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)