文献
J-GLOBAL ID:201302283114442557
整理番号:13A0840835
ミクロシステム応用のため大気圧プラズマを用いるPDMS-LTCC接合
A PDMS-LTCC bonding using atmospheric pressure plasma for microsystem applications
著者 (1件):
MALECHA Karol
(Fac. of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw Univ. of Technol., Wybrzeze Wyspianskiego 27, 50-370 Wroclaw, POL)
資料名:
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻:
181
ページ:
486-493
発行年:
2013年05月
JST資料番号:
T0967A
ISSN:
0925-4005
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)