文献
J-GLOBAL ID:201302283479252455
整理番号:13A1632070
薄い窒化アルミニウム膜における固有応力勾配の変化
Variation of the intrinsic stress gradient in thin aluminum nitride films
著者 (3件):
MEHNER H
(Technische Univ. Ilmenau, Ilmenau, DEU)
,
LEOPOLD S
(Technische Univ. Ilmenau, Ilmenau, DEU)
,
HOFFMANN M
(Technische Univ. Ilmenau, Ilmenau, DEU)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
23
号:
9
ページ:
095030,1-9
発行年:
2013年09月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)