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文献
J-GLOBAL ID：201302284718380963
整理番号：13A0811163
IMPHEAT高温イオン注入システム
IMPHEAT high temperature ion implantation system
TOBIKAWA K.
(Nissin Ion Equipment Co., Ltd, Kyoto, JPN)
,
IONUE S.
(Nissin Ion Equipment Co., Ltd, Kyoto, JPN)
,
SHINGAI T.
(Nissin Ion Equipment Co., Ltd, Kyoto, JPN)
,
MAEHARA N.
(Nissin Ion Equipment Co., Ltd, Kyoto, JPN)
,
UJI N.
(Nissin Ion Equipment Co., Ltd, Kyoto, JPN)
,
SHIOJIRI S.
(Nissin Ion Equipment Co., Ltd, Kyoto, JPN)
,
IWASAWA K.
(Nissin Ion Equipment Co., Ltd, Kyoto, JPN)
資料名：
AIP Conference Proceedings
(AIP Conference Proceedings)
巻： 1496 ページ： 332-335 発行年： 2012年
JST資料番号： D0071C ISSN： 0094-243X 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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