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文献
J-GLOBAL ID：201302285505899929
整理番号：13A1748995
方向性自己集合プロセスの欠陥ソース解析(DSAのDSA)
Defect source analysis of directed self-assembly process (DSA of DSA)
RINCON DELGADILLO Paulina
(IMEC, Leuven, BEL)
,
RINCON DELGADILLO Paulina
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
,
RINCON DELGADILLO Paulina
(Univ. Chicago, IL, USA)
,
HARUKAWA Ryota
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
SURI Mayur
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
DURANT Stephane
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
CROSS Andrew
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
NAGASWAMI Venkat R.
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
VAN DEN HEUVEL Dieter
(IMEC, Leuven, BEL)
,
GRONHEID Roel
(IMEC, Leuven, BEL)
,
NEALEY Paul
(Univ. Chicago, IL, USA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 8680 ページ： 86800L.1-86800L.9 発行年： 2013年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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