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文献
J-GLOBAL ID：201302286149177375
整理番号：13A0250328
Si DSPのvon Mises応力分布に関する有限要素解析
Finite element analysis on von Mises stress distributions of Si DSP
WANG Yongtao
(GRINM Semiconductor Materials Co. Ltd., Beijing 100088, CHN)
,
WANG Yongtao
(General Res. Inst. for Non-Ferrous Metals, Beijing 100088, CHN)
,
KU Liming
(GRINM Semiconductor Materials Co. Ltd., Beijing 100088, CHN)
,
SUO Sizhuo
(GRINM Semiconductor Materials Co. Ltd., Beijing 100088, CHN)
,
DANG Yuxing
(GRINM Semiconductor Materials Co. Ltd., Beijing 100088, CHN)
,
GE Zhong
(GRINM Semiconductor Materials Co. Ltd., Beijing 100088, CHN)
,
YAN Zhirui
(GRINM Semiconductor Materials Co. Ltd., Beijing 100088, CHN)
,
ZHOU Qigang
(GRINM Semiconductor Materials Co. Ltd., Beijing 100088, CHN)
,
ZHOU Qigang
(General Res. Inst. for Non-Ferrous Metals, Beijing 100088, CHN)
資料名：
Materials Science in Semiconductor Processing
(Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 16 号： 1 ページ： 165-170 発行年： 2013年02月
JST資料番号： W1055A ISSN： 1369-8001 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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