文献
J-GLOBAL ID:201302286243385720
整理番号:13A1792079
ラム波共振器のための温度補償付きAlN/SiO2構造
Temperature Compensated AlN/SiO2 Structures for Lamb Wave Resonators
著者 (1件):
NAUMENKO Natalya
(Moscow State and Alloys Inst.)
資料名:
IEEE International Ultrasonics Symposium
(IEEE International Ultrasonics Symposium)
巻:
2012 Vol.4
ページ:
2758-2761
発行年:
2012年
JST資料番号:
A0437C
ISSN:
1948-5719
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)