文献
J-GLOBAL ID:201302286440114399
整理番号:13A1323634
CuアミジナートからのCuの化学気相堆積の実験的および計算的研究
Experimental and computational investigation of chemical vapor deposition of Cu from Cu amidinate
著者 (4件):
AVIZIOTIS Ioannis G.
(School of Chemical Engineering, National Technical Univ. of Athens, Zografou Campus, Athens 15780, GRC)
,
CHEIMARIOS Nikolaos
(School of Chemical Engineering, National Technical Univ. of Athens, Zografou Campus, Athens 15780, GRC)
,
VAHLAS Constantin
(Univ. de Toulouse, CIRIMAT, 4, allee Emile Monso, BP-44362, 31030 Toulouse Cedex 4, FRA)
,
BOUDOUVIS Andreas G.
(School of Chemical Engineering, National Technical Univ. of Athens, Zografou Campus, Athens 15780, GRC)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
230
ページ:
273-278
発行年:
2013年09月15日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)