文献
J-GLOBAL ID:201302287464320247
整理番号:13A0350989
デュアルビームスパッタリングを用いた分子深さプロファイリングの研究
Investigations of molecular depth profiling with dual beam sputtering
著者 (3件):
LU C.
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
,
WUCHER A.
(Univ. Duisburg-Essen, Duisburg, DEU)
,
WINOGRAD N.
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
45
号:
1
ページ:
175-177
発行年:
2013年01月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)