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文献
J-GLOBAL ID：201302287501119123
整理番号：13A0253123
ハイブリッド変調パルスパワーおよびパルスDCマグネトロンスパッタリングにより蒸着したCrSiNナノ複合被膜の構造と性質
Structure and properties of CrSiN nanocomposite coatings deposited by hybrid modulated pulsed power and pulsed dc magnetron sputtering
LIN Jianliang
(Advanced Coatings and Surface Engineering Lab. (ACSEL), Dep. of Metallurgical and Materials Engineering, Colorado ...)
,
WANG Bo
(Advanced Coatings and Surface Engineering Lab. (ACSEL), Dep. of Metallurgical and Materials Engineering, Colorado ...)
,
OU Yixiang
(Advanced Coatings and Surface Engineering Lab. (ACSEL), Dep. of Metallurgical and Materials Engineering, Colorado ...)
,
SPROUL William D.
(Advanced Coatings and Surface Engineering Lab. (ACSEL), Dep. of Metallurgical and Materials Engineering, Colorado ...)
,
SPROUL William D.
(Reactive Sputtering, Inc., 2152 Goya Place, San Marcos, CA 92078, USA)
,
DAHAN Isaac
(Nuclear Res. Center, Beer-Sheva 84190, ISR)
,
MOORE John J.
(Advanced Coatings and Surface Engineering Lab. (ACSEL), Dep. of Metallurgical and Materials Engineering, Colorado ...)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 216 ページ： 251-258 発行年： 2013年02月15日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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