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文献
J-GLOBAL ID：201302287649515788
整理番号：13A1660144
アンダー露光でアンダーベーキングのフォトレジストモールドを用いた,光学的に透明なPDMS人工的ハスの葉状膜の作製
Fabrication of Optically Transparent PDMS Artificial Lotus Leaf Film Using Underexposed and Underbaked Photoresist Mold
YOON Youngsam
(Univ. Texas at Dallas, TX, USA)
,
LEE Dong-Weon
(Chonnam National Univ., Gwangju, KOR)
,
LEE Jeong-Bong
(Univ. Texas at Dallas, TX, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 22 号： 5 ページ： 1073-1080 発行年： 2013年10月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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