前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201302287699359329
整理番号：13A1818769
SU-8微細構造の機械的信頼性に対する前処理とハードベーキングの影響
Influences of pretreatment and hard baking on the mechanical reliability of SU-8 microstructures
MORIKAKU Toshiyuki
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
KAIBARA Yoshinori
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
INOUE Masatoshi
(Kagawa Univ., Kagawa, JPN)
,
MIURA Takuya
(Kagawa Univ., Kagawa, JPN)
,
SUZUKI Takaaki
(Kagawa Univ., Kagawa, JPN)
,
OOHIRA Fumikazu
(Kagawa Univ., Kagawa, JPN)
,
INOUE Shozo
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
NAMAZU Takahiro
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
NAMAZU Takahiro
(JST-PRESTO, Saitama, JPN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 23 号： 10 ページ： 105016,1-10 発行年： 2013年10月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。