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文献
J-GLOBAL ID：201302287917940551
整理番号：13A1829524
チタン堆積速度増加のための修正 高出力インパルス・マグネトロン・スパッタ・プロセス
Modified high power impulse magnetron sputtering process for increased deposition rate of titanium
BARKER Paul Michael
(Lab. for Nanoscale Materials Sci., Empa, Duebendorf, CHE)
,
LEWIN Erik
(Lab. for Nanoscale Materials Sci., Empa, Duebendorf, Switzerland and Dep. of Chemistry, Angstroem Lab., Uppsala ...)
,
PATSCHEIDER Joerg
(Lab. for Nanoscale Materials Sci., Empa, Duebendorf, CHE)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 31 号： 6 ページ： 060604-060604-4 発行年： 2013年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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