文献
J-GLOBAL ID:201302288626124800
整理番号:13A1654818
最近接統計を用いたPt/HfO2/Ptキャパシタにおける絶縁破壊スポットの空間分布解析
Analysis of the breakdown spot spatial distribution in Pt/HfO2/Pt capacitors using nearest neighbor statistics
著者 (5件):
SAURA X.
(Departament d’Enginyeria Electronica, Univ. Autonoma de Barcelona, 08193 Cerdanyola del Valles, Barcelona, ESP)
,
SUNE J.
(Departament d’Enginyeria Electronica, Univ. Autonoma de Barcelona, 08193 Cerdanyola del Valles, Barcelona, ESP)
,
MONAGHAN S.
(Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Cork, Ireland)
,
HURLEY P. K.
(Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Cork, Ireland)
,
MIRANDA E.
(Departament d’Enginyeria Electronica, Univ. Autonoma de Barcelona, 08193 Cerdanyola del Valles, Barcelona, ESP)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
114
号:
15
ページ:
154112-154112-9
発行年:
2013年10月21日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)