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文献
J-GLOBAL ID：201302289463080938
整理番号：13A0794807
オンチップ光機械加速度計
AN ON-CHIP OPTO-MECHANICAL ACCELEROMETER
DONG B.
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
,
DONG B.
(Inst. Microelectronics, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
,
CAI H.
(Inst. Microelectronics, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
,
TSAI J.M.
(Inst. Microelectronics, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
,
KWONG D.L.
(Inst. Microelectronics, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
,
LIU A.Q.
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
,
LIU A.Q.
(Inst. Microelectronics, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 26th Vol.1 ページ： 641-644 発行年： 2013年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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