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文献
J-GLOBAL ID：201302289855342825
整理番号：13A1016476
金属アシスト化学エッチングにより作製したシリコンナノワイヤアレイの光学的評価
Optical assessment of silicon nanowire arrays fabricated by metal-assisted chemical etching
KATO Shinya
(Tokyo Inst. of Technol., Dep. of Physical Electronics, 152-8552, Meguro-ku, Tokyo, JPN)
,
KUROKAWA Yasuyoshi
(Tokyo Inst. of Technol., Dep. of Physical Electronics, 152-8552, Meguro-ku, Tokyo, JPN)
,
KUROKAWA Yasuyoshi
(PRESTO, Japan Sci. and Technol. Agency (JST), 332-0012, Honcho, Kawaguchi, Saitama, JPN)
,
WATANABE Yuya
(Tokyo Inst. of Technol., Dep. of Physical Electronics, 152-8552, Meguro-ku, Tokyo, JPN)
,
YAMADA Yasuharu
(Tokyo Inst. of Technol., Dep. of Physical Electronics, 152-8552, Meguro-ku, Tokyo, JPN)
,
YAMADA Akira
(Tokyo Inst. of Technol., Dep. of Physical Electronics, 152-8552, Meguro-ku, Tokyo, JPN)
,
YAMADA Akira
(Tokyo Inst. of Technol., Photovoltaics Res. Center (PVREC), 152-8552, Tokyo, JPN)
,
OHTA Yoshimi
(Nissan Res. Center, Advanced Materials Lab., 237-8523, Kanagawa, Yokosuka, JPN)
,
NIWA Yusuke
(Nissan Res. Center, Advanced Materials Lab., 237-8523, Kanagawa, Yokosuka, JPN)
,
HIROTA Masaki
(Nissan Res. Center, Advanced Materials Lab., 237-8523, Kanagawa, Yokosuka, JPN)
資料名：
Nanoscale Research Letters (Web)
(Nanoscale Research Letters (Web))
巻： 8 号： 1 ページ： 1-6 発行年： 2013年12月
JST資料番号： U7001A ISSN： 1931-7573 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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