文献
J-GLOBAL ID:201302290644656953
整理番号:13A0247911
DCマグネトロンスパッタリングにより堆積したCrWN膜の微細構造,機械的及びトライボロジー特性
Microstructure, mechanical and tribological properties of CrWN films deposited by DC magnetron sputtering
著者 (7件):
WU Wan-yu
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, MingDao Univ., Taiwan, TWN)
,
WU Chia-hao
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, MingDao Univ., Taiwan, TWN)
,
XIAO Bo-hong
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, MingDao Univ., Taiwan, TWN)
,
YANG Ting-xin
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, MingDao Univ., Taiwan, TWN)
,
LIN Shi-yi
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, MingDao Univ., Taiwan, TWN)
,
CHEN Ping-hung
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, MingDao Univ., Taiwan, TWN)
,
CHANG Chi-lung
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, MingDao Univ., Taiwan, TWN)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
87
ページ:
209-212
発行年:
2013年01月
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)