文献
J-GLOBAL ID:201302291182244944
整理番号:13A1749020
孔における指向性自己集合についての散逸粒子動力学研究
Dissipative Particle Dynamics Study on Directed Self-Assembly in Holes
著者 (6件):
NAKANO T.
(Tokyo Electron Ltd., Ibaraki, JPN)
,
MATSUKUMA M.
(Tokyo Electron Ltd., Ibaraki, JPN)
,
MATSUZAKI K.
(Tokyo Electron Ltd., Ibaraki, JPN)
,
MURAMATSU M.
(Tokyo Electron Kyushu Ltd., Yamanashi, JPN)
,
TOMITA T.
(Tokyo Electron Kyushu Ltd., Yamanashi, JPN)
,
KITANO T.
(Tokyo Electron Kyushu Ltd., Yamanashi, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8680
ページ:
86801J.1-86801J.6
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)