文献
J-GLOBAL ID:201302291223209776
整理番号:13A0794821
汎用センシングネットワークノードのための低コスト片面’SiN/POLY-Si/Al’マルチユーザプロセスモジュールで設計製造されたモノリシック複合センサ
MONOLITHIC COMPOSITE-SENSORS DESIGNED AND FABRICATED BY A LOW-COST SINGLE-SIDE ‘SiN/POLY-Si/Al’ MULTI-USER PROCESS-MODULE FOR VERSATILE SENSING-NETWORK NODES
著者 (8件):
NI Zao
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
,
YANG Chen
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
,
XU Dehui
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
,
ZHOU Hong
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
,
ZHOU Wei
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
,
LI Tie
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
,
XIONG Bin
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
,
LI Xinxin
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
26th Vol.1
ページ:
697-700
発行年:
2013年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)