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文献
J-GLOBAL ID:201302291953223294   整理番号:13A1886547

PZTカンチレバーを用いた高感度低消費電力の差圧センサ

著者 (10件):
海法克享
(NMEMS技術研究機構)
海法克享
(セイコーインスツル)
高橋英俊
(東大)
富松大
(NMEMS技術研究機構)
富松大
(セイコーインスツル)
小林健
(産業技術総合研)
松本潔
(東大)
下山勲
(東大)
伊藤寿浩
前田龍太郎

資料名:
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))

巻: 30th  ページ: ROMBUNNO.6PM3-PSS-38  発行年: 2013年 
JST資料番号: X0768B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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