文献
J-GLOBAL ID:201302291970550878
整理番号:13A1087468
過酸化アンモニア混合物(APM)中における過酸化水素分解の研究
A study of hydrogen peroxide decomposition in ammonia-peroxide mixtures (APM)
著者 (5件):
SIDDIQUI S.
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, The Univ. of Arizona, Tucson, AZ 85721, USA)
,
KESWANI M.
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, The Univ. of Arizona, Tucson, AZ 85721, USA)
,
BROOKS B.
(Intel Corp., Rio Rancho, NM 87124, USA)
,
FUERST A.
(Intel Corp., Rio Rancho, NM 87124, USA)
,
RAGHAVAN S.
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, The Univ. of Arizona, Tucson, AZ 85721, USA)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
102
ページ:
68-73
発行年:
2013年02月
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)