文献
J-GLOBAL ID:201302292107208777
整理番号:13A0405014
短波長エキシマレーザを用いた気体検知用酸化物半導体薄膜の作製
Fabrication of Gas-sensing Semiconductor Oxide Thin Films by Using a Short-wavelength Excimer Laser
著者 (4件):
KANG J. H.
(Univ. Incheon, Incheon, KOR)
,
PARK J. H.
(Univ. Incheon, Incheon, KOR)
,
AHMAD Mohammad Z.
(RMIT Univ., Melbourne, AUS)
,
WLODARSKI W.
(RMIT Univ., Melbourne, AUS)
資料名:
Journal of the Korean Physical Society
(Journal of the Korean Physical Society)
巻:
61
号:
9
ページ:
1457-1461
発行年:
2012年11月15日
JST資料番号:
T0357A
ISSN:
0374-4884
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
韓国 (KOR)
言語:
英語 (EN)