文献
J-GLOBAL ID:201302292718941674
整理番号:13A0680683
シートナノインプリント法による長さ15mの重合体シート上への200nmのドット・パターンの製作
Fabrication of 200-nm Dot Pattern on 15-m-Long Polymer Sheet Using Sheet Nanoimprint Method
著者 (5件):
OGINO Masahiko
(Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
HASEGAWA Mitsuru
(Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
SAKAUE Keiji
(Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd., Niigata, JPN)
,
NAGAI Shuuichi
(Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd., Niigata, JPN)
,
MIYAUCHI Akihiro
(Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
52
号:
3,Issue 1
ページ:
035201.1-035201.4
発行年:
2013年03月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)