文献
J-GLOBAL ID:201302292914327186
整理番号:13A0794895
希薄ガスセンサとして機能するMWCNT埋め込み型マイクロメカニカル共振器の開発
DEVELOPMENT OF MWCNT EMBEDDED MICROMECHANICAL RESONATOR WORKING AS RAREFIED GAS SENSOR
著者 (6件):
KISHIHARA H.
(Kobe Univ., Hyogo)
,
HANASAKI I.
(Osaka Univ., Osaka)
,
MATSUZUKA N.
(Akashi National Coll. Technol., Hyogo)
,
YAMASHITA I.
(Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN)
,
URAOKA Y.
(Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN)
,
ISONO Y.
(Kobe Univ., Hyogo)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
26th Vol.2
ページ:
985-988
発行年:
2013年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)