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文献
J-GLOBAL ID：201302292924432085
整理番号：13A1944348
工業的物理気相堆積反応器中の中性ガスフローの連続体および動的シミュレーション
Continuum and kinetic simulations of the neutral gas flow in an industrial physical vapor deposition reactor
BOBZIN Kirsten
(RWTH Aachen Univ., Fac. of Mechanical Engineering, Surface Engineering Inst., D-52056 Aachen, DEU)
,
BRINKMANN Ralf Peter
(Ruhr Univ. Bochum, Fac. of Electrical Engineering and Information Technol., Inst. of Theoretical Electrical ...)
,
MUSSENBROCK Thomas
(Ruhr Univ. Bochum, Fac. of Electrical Engineering and Information Technol., Inst. of Theoretical Electrical ...)
,
BAGCIVAN Nazlim
(RWTH Aachen Univ., Fac. of Mechanical Engineering, Surface Engineering Inst., D-52056 Aachen, DEU)
,
BRUGNARA Ricardo Henrique
(RWTH Aachen Univ., Fac. of Mechanical Engineering, Surface Engineering Inst., D-52056 Aachen, DEU)
,
SCHAEFER Marcel
(RWTH Aachen Univ., Fac. of Mechanical Engineering, Surface Engineering Inst., D-52056 Aachen, DEU)
,
TRIESCHMANN Jan
(RWTH Aachen Univ., Fac. of Mechanical Engineering, Surface Engineering Inst., D-52056 Aachen, DEU)
,
TRIESCHMANN Jan
(Ruhr Univ. Bochum, Fac. of Electrical Engineering and Information Technol., Inst. of Theoretical Electrical ...)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 237 ページ： 176-181 発行年： 2013年12月25日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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