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文献
J-GLOBAL ID:201302293035743334   整理番号:13A1389674

ミリ波波長可変移相器へ応用するための長ストローク千鳥配置縦型櫛形駆動アクチュエータ

Large Stroke Staggered Vertical Comb-Drive Actuator for the Application of a Millimeter-Wave Tunable Phase Shifter
著者 (6件):
LI Yunjia
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
PSYCHOGIOU Dimitra
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
KUEHNE Stephane
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
HESSELBARTH Jan
(Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU)
HAFNER Christian
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
HIEROLD Christofer
(ETH Zurich, Zurich, CHE)

資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)

巻: 22  号:ページ: 962-975  発行年: 2013年08月 
JST資料番号: W0357A  ISSN: 1057-7157  CODEN: JMIYET  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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