文献
J-GLOBAL ID:201302293035743334
整理番号:13A1389674
ミリ波波長可変移相器へ応用するための長ストローク千鳥配置縦型櫛形駆動アクチュエータ
Large Stroke Staggered Vertical Comb-Drive Actuator for the Application of a Millimeter-Wave Tunable Phase Shifter
著者 (6件):
LI Yunjia
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
,
PSYCHOGIOU Dimitra
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
,
KUEHNE Stephane
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
,
HESSELBARTH Jan
(Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU)
,
HAFNER Christian
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
,
HIEROLD Christofer
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
22
号:
4
ページ:
962-975
発行年:
2013年08月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)