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文献
J-GLOBAL ID：201302293646899615
整理番号：13A0077552
ドープシリコンナノワイヤに基づく高感度湿度センサの作製およびモデリング
Fabrication and modeling of high sensitivity humidity sensors based on doped silicon nanowires
TAGHINEJAD H.
(Thin Film and Nano-Electronic Lab, Nano-Electronic Center of Excellence, School of Electrical and Computer Eng. ...)
,
TAGHINEJAD M.
(Thin Film and Nano-Electronic Lab, Nano-Electronic Center of Excellence, School of Electrical and Computer Eng. ...)
,
ABDOLAHAD M.
(Thin Film and Nano-Electronic Lab, Nano-Electronic Center of Excellence, School of Electrical and Computer Eng. ...)
,
SAEIDI A.
(Thin Film and Nano-Electronic Lab, Nano-Electronic Center of Excellence, School of Electrical and Computer Eng. ...)
,
MOHAJERZADEH S.
(Thin Film and Nano-Electronic Lab, Nano-Electronic Center of Excellence, School of Electrical and Computer Eng. ...)
資料名：
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 176 ページ： 413-419 発行年： 2013年01月
JST資料番号： T0967A ISSN： 0925-4005 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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