文献
J-GLOBAL ID:201302293671656530
整理番号:13A0778777
新奇のたわみ機構により可能となった大ストロークの静電コム駆動アクチュエータ
Large Stroke Electrostatic Comb-Drive Actuators Enabled by a Novel Flexure Mechanism
著者 (4件):
OLFATNIA Mohammad
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
SOOD Siddharth
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
GORMAN Jason J.
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
,
AWTAR Shorya
(Univ. Michigan, MI, USA)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
22
号:
2
ページ:
483-494
発行年:
2013年04月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)