文献
J-GLOBAL ID:201302293860491135
整理番号:13A0072784
3D集積化におけるキー技術の信頼性
Reliability of key technologies in 3D integration
著者 (2件):
KO Cheng-ta
(Dep. of Electronics Engineering, National Chiao Tung Univ., Taiwan)
,
CHEN Kuan-neng
(Dep. of Electronics Engineering, National Chiao Tung Univ., Taiwan)
資料名:
Microelectronics Reliability
(Microelectronics Reliability)
巻:
53
号:
1
ページ:
7-16
発行年:
2013年01月
JST資料番号:
C0530A
ISSN:
0026-2714
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)