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文献
J-GLOBAL ID：201302296244371303
整理番号：13A0415752
音響キャビテーション気泡により生じた単結晶性シリコン表面における腐食の進展
Erosion evolution in mono-crystalline silicon surfaces caused by acoustic cavitation bubbles
FERNANDEZ RIVAS David
(Mesoscale Chemical Systems Group, MESA + Res. Inst., Univ. of Twente, ME147, P.O. Box 217, 7500 AE Enschede, NLD)
,
BETJES Joris
(Mesoscale Chemical Systems Group, MESA + Res. Inst., Univ. of Twente, ME147, P.O. Box 217, 7500 AE Enschede, NLD)
,
VERHAAGEN Bram
(Physics of Fluids Group and MIRA Res. Inst., Fac. of Sci. and Technol., Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500 AE ...)
,
BOUWHUIS Wilco
(Physics of Fluids Group and MESA + Res. Inst., Fac. of Sci. and Technol., Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500 AE ...)
,
BOR Ton C.
(Chair of Production Technol., Fac. of Engineering Technol., Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500 AE Enschede, NLD)
,
LOHSE Detlef
(Physics of Fluids Group and MESA + Res. Inst., Fac. of Sci. and Technol., Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500 AE ...)
,
GARDENIERS Han J. G. E.
(Mesoscale Chemical Systems Group, MESA + Res. Inst., Univ. of Twente, ME147, P.O. Box 217, 7500 AE Enschede, NLD)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 113 号： 6 ページ： 064902-064902-13 発行年： 2013年02月14日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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