文献
J-GLOBAL ID:201302296367782774
整理番号:13A1773288
バイオテンプレートとディフェクトフリー中性ビームエッチングの融合により製作した新量子効果デバイス
Novel Quantum Effect Devices Fabricated Using Fusion of Bio-template and Defect-Free Neutral Beam Etching
著者 (2件):
SAMUKAWA Seiji
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SAMUKAWA Seiji
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
資料名:
Abstract. JSAP-MRS Joint Symposia (CD-ROM)
(Abstract. JSAP-MRS Joint Symposia (CD-ROM))
ページ:
ROMBUNNO.17P-M3-7
発行年:
2013年
JST資料番号:
M20130006
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)