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文献
J-GLOBAL ID：201302297246357843
整理番号：13A0712746
チタン薄膜の中空カソードスパッタリング実験と関連現象
Hollow Cathode Sputtering Experiments for Titanium Thin Films and Related Phenomena
SCHRITTWIESER R.
(Univ. Innsbruck, AUT)
,
IONITA C.
(Univ. Innsbruck, AUT)
,
MURAWSKI A.
(Univ. Innsbruck, AUT)
,
MASZL C.
(Univ. Innsbruck, AUT)
,
ASANDULESA M.
(Alexandru-Ioan-Cuza Univ. Iasi, Iasi, ROM)
,
NASTUTA A.
(Alexandru-Ioan-Cuza Univ. Iasi, Iasi, ROM)
,
RUSU G.B.
(Alexandru-Ioan-Cuza Univ. Iasi, Iasi, ROM)
,
LUCA C.
(Alexandru-Ioan-Cuza Univ. Iasi, Iasi, ROM)
,
FALOS E.
(Alexandru-Ioan-Cuza Univ. Iasi, Iasi, ROM)
,
NIEDRIST R.
(Alexandru-Ioan-Cuza Univ. Iasi, Iasi, ROM)
,
DOUAT C.
(Univ. Paris Sud 11, Orsay, FRA)
,
OLENICI-CRACIUNESCU S.B.
(ISAS-Inst. Analytical Sci., Dortmund, DEU)
,
VOJVODIC I.
(Univ. Montenegro, Podgorica, ZZZ)
,
DOBROMIR M.
(Alexandru-Ioan-Cuza Univ. Iasi, Iasi, ROM)
,
LUCA D.
(Alexandru-Ioan-Cuza Univ. Iasi, Iasi, ROM)
,
JAKSCH S.
(Univ. Innsbruck, AUT)
,
SCHEIER P.
(Univ. Innsbruck, AUT)
資料名：
電気学会プラズマ研究会資料
(電気学会研究会資料)
巻： PST-13 号： 1-9 ページ： 27-32 発行年： 2013年03月15日
JST資料番号： Z0951A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 文献レビュー 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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