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文献
J-GLOBAL ID：201402202181146897
整理番号：14A0716143
二段階ソフトリソグラフィーを用いる高機械的安定性を有するナノ/マイクロフルイディクス装置の迅速製造法
Rapid fabrication technique of nano/microfluidic device with high mechanical stability utilizing two-step soft lithography
MOGI Katsuo
(Mechanical and Control Engineering, Tokyo Inst. of Technol., JPN)
,
SUGII Yasuhiko
(School of Engineering, The Univ. of Tokyo, JPN)
,
YAMAMOTO Takatoki
(Mechanical and Control Engineering, Tokyo Inst. of Technol., JPN)
,
FUJII Teruo
(Inst. of Industrial Sci., The Univ. of Tokyo, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 201 ページ： 407-412 発行年： 2014年10月01日
JST資料番号： T0967A ISSN： 0925-4005 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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