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文献
J-GLOBAL ID：201402202479533192
整理番号：14A0054775
航空機搭載超微細粒子センシングのための集積電熱ヒータを備えたMEMSベースシリコン片持梁
MEMS-based silicon cantilevers with integrated electrothermal heaters for airborne ultrafine particle sensing
WASISTO Hutomo Suryo
(Braunschweig Univ. Technol., Braunschweig, DEU)
,
MERZSCH Stephan
(Braunschweig Univ. Technol., Braunschweig, DEU)
,
WAAG Andreas
(Braunschweig Univ. Technol., Braunschweig, DEU)
,
PEINER Erwin
(Braunschweig Univ. Technol., Braunschweig, DEU)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 8763 号： Pt.2 ページ： 87632L.1-87632L.11 発行年： 2013年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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