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文献
J-GLOBAL ID：201402202876270424
整理番号：14A0536089
微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡に関する研究-形状測定の高速・高精度化のための走査方式の検討-
細渕啓一郎
(東北大)
,
JIA Zhigang
(東北大)
,
伊東聡
(東北大)
,
清水裕樹
(東北大)
,
GAO Wei
(東北大)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2014 号： 春季(CD-ROM) ページ： ROMBUNNO.A07 発行年： 2014年03月01日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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