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文献
J-GLOBAL ID：201402203189184140
整理番号：14A0299413
高繰返し速度ピコ秒レーザによる溶融シリカガラスにおける高アスペクト比ホールの迅速マイクロマシニング
Rapid micromachining of high aspect ratio holes in fused silica glass by high repetition rate picosecond laser
KARIMELAHI Samira
(Univ. of Toronto, Dep. of Electrical and Computer Engineering and the Inst. for Optical Sciences, 10 King’s Coll. ...)
,
ABOLGHASEMI Ladan
(Univ. of Toronto, Dep. of Electrical and Computer Engineering and the Inst. for Optical Sciences, 10 King’s Coll. ...)
,
HERMAN Peter R.
(Univ. of Toronto, Dep. of Electrical and Computer Engineering and the Inst. for Optical Sciences, 10 King’s Coll. ...)
資料名：
Applied Physics. A. Materials Science & Processing
(Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 114 号： 1 ページ： 91-111 発行年： 2014年01月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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