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文献
J-GLOBAL ID：201402203755091871
整理番号：14A0361289
超音波表面弾性波によるボロン添加CZシリコンの原子空孔軌道の研究
高須理栄
(新潟大 大学院)
,
馬場正太郎
(新潟大 大学院)
,
三本啓輔
(新潟大)
,
赤津光洋
(新潟大 理)
,
根本祐一
(新潟大 大学院)
,
後藤輝孝
(新潟大 大学院)
,
金田寛
(九州工大 大学院)
,
古村雄二
(フィルテック)
,
斉藤広幸
(グローバルウェーハズ・ジャパン)
,
鹿島一日兒
(グローバルウェーハズ・ジャパン)
,
斉藤芳彦
(東芝)
資料名：
日本物理学会講演概要集
(日本物理学会年次大会講演概要集)
巻： 69 号： 1 第3分冊 ページ： 579 発行年： 2014年03月05日
JST資料番号： S0671B ISSN： 1342-8349 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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