文献
J-GLOBAL ID:201402204056551120
整理番号:14A0297123
ウエハ製造レチクル再認定での自動欠陥分類(ADC)と進捗モニタリング(DPM)
Automated Defect Classification (ADC) and Progression Monitoring (DPM) in Wafer Fab Reticle Requalification
著者 (14件):
YEN T. H.
(Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd., Tainan, TWN)
,
LAI Rick
(Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd., Tainan, TWN)
,
TUO Laurent C.
(Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd., Tainan, TWN)
,
TOLANI Vikram
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
CHEN Dongxue
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
HU Peter
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
YU Jiao
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
HWA George
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
ZHENG Yan
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
LAKKAPRAGADA Suresh
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
WANG Kechang
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
PENG Danping
(Luminescent Technol., Inc., CA)
,
WANG Bill
(Luminescent Technol., Inc., TWN)
,
CHIANG Kaiming
(Luminescent Technol., Inc., TWN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8880
ページ:
88800A.1-88800A.13
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)