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文献
J-GLOBAL ID：201402208165091088
整理番号：14A1213580
生物学的応用のための厚いSOI LSIデバイスについての微小流体チャネル集積化
Micro-Fluidic Channel Integration on Thick-SOI LSI Device for Biological Application.
TIXIER-MITA Agnes
(Res. Center for Advanced Sci. and Technol., The Univ. of Tokyo)
,
MORI Isao
(Dep. of Electrical and Electronics Engineering, The Univ. of Tokyo)
,
TAKAHASHI Takuya
(Res. Center for Advanced Sci. and Technol., The Univ. of Tokyo)
,
FRANCAIS Olivier
(SATIE/IFR d’Alembert, Ecole Normale Superieure de Cachan)
,
PIOUFLE Bruno Le
(SATIE/IFR d’Alembert, Ecole Normale Superieure de Cachan)
,
MITA Yoshio
(Dep. of Electrical and Electronics Engineering, The Univ. of Tokyo)
,
TOSHIYOSHI Hiroshi
(Res. Center for Advanced Sci. and Technol., The Univ. of Tokyo)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 134 号： 10 ページ： 320-325 (J-STAGE) 発行年： 2014年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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