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J-GLOBAL ID:201402209869361346   整理番号:14A0551163

RAF品質の150mm 4H-SiCウエハの開発

Development of RAF Quality 150mm 4H-SiC Wafer
著者 (34件):
KONDO H.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
KONDO H.
(DENSO CORP., Aichi, JPN)
TAKABA H.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
TAKABA H.
(DENSO CORP., Aichi, JPN)
YAMADA M.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
YAMADA M.
(DENSO CORP., Aichi, JPN)
URAKAMI Y.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
URAKAMI Y.
(DENSO CORP., Aichi, JPN)
OKAMOTO T.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
OKAMOTO T.
(DENSO CORP., Aichi, JPN)
KOBAYASHI M.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
KOBAYASHI M.
(SHOWA DENKO K.K., Shiga, JPN)
MASUDA T.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
MASUDA T.
(SHOWA DENKO K.K., Shiga, JPN)
GUNJISHIMA I.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
GUNJISHIMA I.
(TOYOTA CENTRAL R&D LABS, INC., Aichi, JPN)
SHIGETO K.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
SHIGETO K.
(TOYOTA CENTRAL R&D LABS, INC., Aichi, JPN)
OOYA N.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
OOYA N.
(DENSO CORP., Aichi, JPN)
SUGIYAMA N.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
SUGIYAMA N.
(DENSO CORP., Aichi, JPN)
MATSUSE A.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
MATSUSE A.
(SHOWA DENKO K.K., Shiga, JPN)
KOZAWA T.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
KOZAWA T.
(TOYOTA CENTRAL R&D LABS, INC., Aichi, JPN)
SATO T.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
SATO T.
(SHOWA DENKO K.K., Shiga, JPN)
HIROSE F.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
HIROSE F.
(DENSO CORP., Aichi, JPN)
YAMAUCHI S.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
YAMAUCHI S.
(DENSO CORP., Aichi, JPN)
ONDA S.
(R&D Partnership for Future Power Electronics Technol.)
ONDA S.
(DENSO CORP., Aichi, JPN)

資料名:
Materials Science Forum  (Materials Science Forum)

巻: 778/780  号: Pt.1  ページ: 17-21  発行年: 2014年 
JST資料番号: D0716B  ISSN: 0255-5476  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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