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文献
J-GLOBAL ID：201402220089188123
整理番号：14A1184644
重力キャンセラを持つ6-DOF高精度走査ステージの設計と制御
Design and Control of 6-DOF High-Precision Scan Stage with Gravity Canceller
OHNISHI Wataru
(Univ. Tokyo, Chiba, JPN)
,
FUJIMOTO Hiroshi
(Univ. Tokyo, Chiba, JPN)
,
SAKATA Koichi
(Nikon Corp., Yokohama, JPN)
,
SUZUKI Kazuhiro
(Nikon Corp., Yokohama, JPN)
,
SAIKI Kazuaki
(Nikon Corp., Yokohama, JPN)
資料名：
Proceedings of the American Control Conference
(Proceedings of the American Control Conference)
巻： 2014 Vol.2 ページ： 997-1002 発行年： 2014年
JST資料番号： B0982A ISSN： 0743-1619 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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