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文献
J-GLOBAL ID:201402221306792324   整理番号:14A0094053

集束イオンビームにより処理された単結晶シリコンカンチレバーの破壊強度

Fracture strength analysis of single-crystalline silicon cantilevers processed by focused ion beam
著者 (5件):
TAKAHASHI Yoshimasa
(Dep. of Mechanical Engineering, Kansai Univ., 3-3-35 Yamate-cho, Suita-shi, Osaka 564-8680, JPN)
KONDO Hikaru
(Dep. of Mechanical Engineering, Kansai Univ., 3-3-35 Yamate-cho, Suita-shi, Osaka 564-8680, JPN)
NIIMI Hironobu
(JEOL Ltd., SM Business unit, 1-2 Musashino, 3-Chome, Akishima, Tokyo 196-8558, JPN)
NOKUO Takeshi
(JEOL Ltd., SM Business unit, 1-2 Musashino, 3-Chome, Akishima, Tokyo 196-8558, JPN)
SUZUKI Toshiaki
(JEOL Ltd., IB Business unit, 1-2 Musashino, 3-Chome, Akishima, Tokyo 196-8558, JPN)

資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)

巻: 206  ページ: 81-87  発行年: 2014年02月01日 
JST資料番号: B0345C  ISSN: 0924-4247  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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