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文献
J-GLOBAL ID：201402221306792324
整理番号：14A0094053
集束イオンビームにより処理された単結晶シリコンカンチレバーの破壊強度
Fracture strength analysis of single-crystalline silicon cantilevers processed by focused ion beam
TAKAHASHI Yoshimasa
(Dep. of Mechanical Engineering, Kansai Univ., 3-3-35 Yamate-cho, Suita-shi, Osaka 564-8680, JPN)
,
KONDO Hikaru
(Dep. of Mechanical Engineering, Kansai Univ., 3-3-35 Yamate-cho, Suita-shi, Osaka 564-8680, JPN)
,
NIIMI Hironobu
(JEOL Ltd., SM Business unit, 1-2 Musashino, 3-Chome, Akishima, Tokyo 196-8558, JPN)
,
NOKUO Takeshi
(JEOL Ltd., SM Business unit, 1-2 Musashino, 3-Chome, Akishima, Tokyo 196-8558, JPN)
,
SUZUKI Toshiaki
(JEOL Ltd., IB Business unit, 1-2 Musashino, 3-Chome, Akishima, Tokyo 196-8558, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 206 ページ： 81-87 発行年： 2014年02月01日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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