文献
J-GLOBAL ID:201402221899441255
整理番号:14A0980686
MEMS容量性大規模歪みセンサの設計と開発
Design and Development of MEMS Capacitive Large-Scale Strain Sensors
著者 (5件):
DUAN Chengli
(Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China (UESTC), Chengdu, CHN)
,
JIANG Yadong
(Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China (UESTC), Chengdu, CHN)
,
CHEN Lijie
(China Electronics Technol. Group Corp., Harbin, CHN)
,
TAI Huiling
(Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China (UESTC), Chengdu, CHN)
,
HE Yingfei
(Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China (UESTC), Chengdu, CHN)
資料名:
Integrated Ferroelectrics
(Integrated Ferroelectrics)
巻:
147
ページ:
123/661-130/668
発行年:
2013年
JST資料番号:
W0539A
ISSN:
1058-4587
CODEN:
IFEREU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)