文献
J-GLOBAL ID:201402224660078344
整理番号:14A0229639
ナノサイズ化破片の衝撃により基板に付着したナノ粒子の除去基準
Criteria for removal of nanoparticles adhered to a substrate by bombardment with nano-sized bullets
著者 (3件):
CHOI Min-Seok
(Pohang Univ. Sci. and Technol., Pohang, KOR)
,
YI Min-Young
(Res. Inst. of Sci. and Technol. (RIST), Pohang, KOR)
,
LEE Jin-Won
(Pohang Univ. Sci. and Technol., Pohang, KOR)
資料名:
Journal of Aerosol Science
(Journal of Aerosol Science)
巻:
63
ページ:
38-47
発行年:
2013年09月
JST資料番号:
D0776A
ISSN:
0021-8502
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)