文献
J-GLOBAL ID:201402225374512971
整理番号:14A0984342
マイクロ波電子サイクロトロン共鳴-プラズマ化学蒸着により作製したホウ素ドープアモルファス窒化炭素薄膜の構造的,光学的性質
Structural and optical properties of boron-doped amorphous carbon nitride thin films synthesized by microwave electron cyclotron resonance-plasma chemical vapor deposition
著者 (8件):
SAWAHATA Junji
(Ibaraki National Coll. of Technol., Ibaraki, JPN)
,
TERAMOTO Michihito
(Tsuyama National Coll. of Technol., Okayama, JPN)
,
NAKAMURA Shigeyuki
(Tsuyama National Coll. of Technol., Okayama, JPN)
,
KAMETOMO Kenta
(Okayama Univ. Sci., Okayama, JPN)
,
SATAKE Masaki
(Ryukoku Univ., Otsu, JPN)
,
YAMAMOTO Shin-ichi
(Ryukoku Univ., Otsu, JPN)
,
ITOH Kunio
(Ryukoku Univ., Otsu, JPN)
,
TAKARABE Kenichi
(Okayama Univ. Sci., Okayama, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
53
号:
7
ページ:
071002.1-071002.5
発行年:
2014年07月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)