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文献
J-GLOBAL ID：201402226783523337
整理番号：14A0657066
シリコン基板とガラス基板上におけるイオン液体イオン・ビームの照射
Irradiation of ionic liquid ion beams on silicon and glass substrates
TAKEUCHI Mitsuaki
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
HAMAGUCHI Takuya
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
RYUTO Hiromichi
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TAKAOKA Gikan H.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 315 ページ： 234-239 発行年： 2013年11月15日
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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