文献
J-GLOBAL ID:201402227139350118
整理番号:14A1121842
顕微鏡的なパターン構造におけるドライエッチングプロセスの間の本質的な応力によって誘起された波打ちの発現
Onset of Wiggling in a Microscopic Patterned Structure Induced by Intrinsic Stress During the Dry Etching Process
著者 (4件):
TANAKA Hiro
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
HIDAKA Takahiro
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
IZUMI Satoshi
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SAKAI Shinsuke
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名:
Journal of Applied Mechanics
(Journal of Applied Mechanics)
巻:
81
号:
9
ページ:
091009.1-091009.8
発行年:
2014年09月
JST資料番号:
C0660A
ISSN:
0021-8936
CODEN:
JAMCAV
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)